전자형

[ Etching(식각) 공정이란? ] 식각공정은 Photo공정에서 형성 된 패턴대로 깎아내는 공정을 말합니다. 앞서 언급했던 Photo공정과 함께 8대공정 중 중요도가 높은 공정에 속하며, 현재 nm를 구현하는 반도체 공정에서 난이도가 매우높은 공정에 속합니다. Photo공정에서 PR용액의 역할은 원하는 패턴을 형성시키기 위해 사용했었지만, Etching공정에서는 PR용액 아래 부분이 깎이지 않게끔 막아주는 보호막 역할을하게 됩니다. 그리고 식각 공정이 끝나면 남아있던 PR용액을 제거해주어 웨이퍼와 증착물질 이외에는 모든 부분이 제거됩니다. [ 건식 식각(Dry Etching) vs 습식 식각(Wet Etching) ] 식각공정은 크게 건식(Dry)과 습식(Wet)으로 나뉩니다. 이 두 가지 방법의 가..